クリーンローラー設置方式
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ニップ転写除塵方式
対応装置
CMWH-SRR/ULT, CMW-P/S, CMW-SRR/ULT,
CMN-P/S,CMN-SRR/ULT,CMC, CMX, CMXN
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ラップ転写除塵方式
対応装置
CMWH-SRR/ULT, CMW-P/S, CMW-SRR/ULT,
CMN-P/S, CMN-SRR/ULT, CMXW.
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ラップシングル除塵方式
対応装置
SRRH, SRRW, SRRN.
除塵システム
シリコン系除塵システム
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Gapless™
ULTロール to ロールシステム
対応装置
CMWH-ULT, CMW-ULT, CMN-ULT, CMC, CMX,
CMS-L, CMS-H
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P/S粘着シート転写用ロール＋シリコン系クリーンローラー
対応装置
CMW-P/S, CMN-P/S, CMC, CMX, CMS-L, CMS-H
ノンシリコン系除塵システム
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Gapless™
SRR ロール to ロールシステム
対応装置
CMWH-SRR, CMW-SRR, CMN-SRR, CMC,
CMX, CMS-L, CMS-H
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SRRシングルロール
除塵システム
対応装置
SRR-H, SRR-W, SRR-N
